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本标准为采用辉光放电发射光谱法进行体材分析和深度剖析提供了方法通则。这里所讨论的方法通则仅限于刚性的固体样品的分析，不包括粉末、气体或溶液的分析。结合将来其他特定的标准方法，本方法通则应能够实现仪器的规范管理和测量条件的控制。

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下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
ISO3497:1990金属镀层镀层厚度的侧定X射线光谱法(Metalliccoatings-Measurementofcoatingthickness-X-spectrometricmethods)
ISO5725-1:1994测量方法和结果的准确度(真值和精度)第一部分:基本原理和定义(Accuracy(truenessandprecision)ofmeasurementmethodsandresults-Part1:Generalprinciplesanddefinitions)ISO5725-2:1994测量方法和结果的准确度(真值和精度)第二部分:标准测量方法重复性和再现性测定的基本方法Accuracytruenessandprecision)fmeasurementmethodsandresults-Part2:
Basicmethodforthedeterminationofrepeatabilityandreproducibilityofastandardmeasurementmethod)
ISO5725-3:1994测量方法和结果的准确度(真值和精度)第三部分:标准测量方法精密度的中
位测量(Accuracy(truenessandprecision)ofmeasurementmethodsandresults-Part3:Intermediate
measuresoftheprecisionofastandardmeasurementmethod)
ISO5725-4:1994测量方法和结果的准确度(真值和精度)第四部分:标准测量方法真值测定的基本方法ccuracytruenessandprecision)ofmeasurementmethodsandresults-Part4:Basicmethods
forthedeterminationofthetruenessofastandardmeasurementmethod)
ISO6955:1982分析光谱学方法火焰发射、原子吸收和原子荧光词汇(Analyticalspectroscopicmethods-Flameemission,atomicabsorption,andatomicfluorescence-Vocabulary).